반도체자동화부품  제품/서비스 검색 결과 : 1건

반도체 전공정 자동화를 위한 EFEM ATM(Vacuum Transfer Module)/VTM(Robot Transfer Module)은 웨이퍼의 정밀 이송 및 처리 효율을 극대화하는 핵심 부품입니다. 고강성 프레임 구조와 첨단 제어박스 일괄 제작 역량을 바탕으로 Lam Research 등 글로벌 반도체 장비사에 공급되고 있으며, 고객 맞춤 사양 대응 및 리퍼비시 서비스까지 제공하여 생산성과 신뢰도를 높였습니다.