와이아이케이의 웨이퍼 핸들러는 반도체 제조 공정에서 웨이퍼의 자동 이송, 정렬, 로딩 및 언로딩을 담당하는 핵심 자동화 장비입니다. 고정밀 모션 제어와 안정적인 핸들링 기술을 바탕으로, 검사장비와의 연동성을 극대화하여 생산 라인의 효율성과 안정성을 높입니다. 다양한 웨이퍼 크기와 공정 환경에 맞춘 맞춤형 솔루션을 제공합니다.
LCF는 반도체 및 첨단 제조 현장에서 생산·물류 자동화를 실현하는 통합 소프트웨어 플랫폼입니다. 실시간 데이터 수집, 설비 제어, 공정 모니터링 등 다양한 기능을 제공하여 생산 효율성과 품질 관리를 극대화합니다. 고객 맞춤형 인터페이스와 유연한 확장성을 바탕으로 스마트팩토리 구축에 최적화된 솔루션입니다.
Scan Robot for 300mm Ion Implanter는 이온 주입기용으로 설계된 고정밀 스캔 로봇으로, 대구경(300mm) 웨이퍼의 안정적이고 반복적인 핸들링 및 위치 제어를 지원합니다. 빠른 동작 속도와 높은 내구성으로 생산라인의 효율성을 높이며 다양한 반도체 제조 환경에서 활용됩니다.