IGS(Gas Box)는 반도체 및 디스플레이 제조라인에서 특수가스를 안전하고 정밀하게 공급·제어하는 통합 가스공급장치입니다. 자동화된 제어시스템과 다중 안전장치를 탑재하여 생산현장의 효율성과 작업자의 안전성을 극대화합니다. 다양한 가스 종류와 라인 구성에 맞춘 커스터마이징이 가능하며 글로벌 대형 팹(Fab)에 납품되고 있는 검증된 솔루션입니다.
EFEM은 반도체 생산라인에서 FOUP 내 웨이퍼를 자동으로 인식·개방·적재하며 각종 로봇과 연동해 전공정 장비와 완벽히 호환되는 전면 자동화 모듈입니다. 싸이맥스의 EFEM은 고속 처리능력과 높은 청정도를 자랑하며 다양한 고객 맞춤형 옵션 제공으로 글로벌 IDM 업체들의 신뢰를 받고 있습니다.
반도체 전공정 자동화를 위한 EFEM ATM(Vacuum Transfer Module)/VTM(Robot Transfer Module)은 웨이퍼의 정밀 이송 및 처리 효율을 극대화하는 핵심 부품입니다. 고강성 프레임 구조와 첨단 제어박스 일괄 제작 역량을 바탕으로 Lam Research 등 글로벌 반도체 장비사에 공급되고 있으며, 고객 맞춤 사양 대응 및 리퍼비시 서비스까지 제공하여 생산성과 신뢰도를 높였습니다.
MKS 질량 유량 컨트롤러는 반도체·디스플레이·광학 등 다양한 산업 현장에서 가스 및 액체의 유량을 정밀하게 제어하는 핵심 장비입니다. 빠른 응답속도와 높은 반복성으로 미세한 공정을 요구하는 환경에서도 안정적인 성능을 보장하며, 디지털 통신 기능과 다양한 인터페이스 지원으로 스마트 팩토리 구현에도 적합합니다.
항온항습기는 정밀 기계 및 전자 부품 생산 환경에서 요구되는 일정 온도와 습도를 유지하는 첨단 공조 장치입니다. 엠티코리아(주)는 고성능 센서와 효율적인 제습·가열 시스템을 적용해 미세 환경 변화에도 신속하게 대응하며, 클린룸 등 특수 환경에 최적화된 솔루션을 제공합니다.
FFU는 반도체 및 디스플레이 생산라인의 청정도를 유지하기 위한 핵심 공기 정화 장치입니다. 고효율 필터와 저소음 팬이 결합되어 미세먼지와 오염물질을 효과적으로 제거하며, 다양한 라인에 맞춤형 설치가 가능합니다. 에너지 절감과 유지보수 편의성이 뛰어나며 삼성전자 등 국내 대기업에 납품되고 있습니다.
ROBOSTAR 스카라 로봇 S Series는 업계 최고 수준의 정밀도와 생산성을 갖춘 고속 다관절 산업용 로봇입니다. 최대 속도가 기존 대비 약 두 배 빨라져 연속 생산 공정에서 탁월한 작업 성능을 발휘하며 반복 정밀도 또한 크게 향상되었습니다. 케이블 내장 설계와 경량 구조로 에너지 효율성이 뛰어나고 유지 관리가 용이하여 반도체·식품·자동차 부품 등 다양한 제조라인에 적합합니다.
