아이브이웍스가 세계 최초로 개발한 AI 기반 epitaxy 플랫폼 DOMM은 딥러닝 알고리즘을 활용해 반도체 소재 성장 과정을 실시간 모니터링하고 자동 제어함으로써 생산 효율성과 품질 일관성을 극대화합니다. 고객 맞춤형 구조 설계와 One-Step 지능형 생산 시스템을 통해 기존 대비 획기적으로 빠른 성장 속도를 구현하며 유지보수 없이 연속생산 가능한 스마트 팩토리를 지원합니다.
반도체 및 디스플레이 제조공정에 특화된 SD-SA90B 웨이퍼 트랜스퍼 로봇은 미세먼지 방지 설계와 초고정밀 제어 기술을 적용하여 클린룸 환경에서도 안정적으로 웨이퍼 이송 작업을 수행합니다. 빠른 사이클 타임과 높은 반복 정확도로 첨단 산업 현장의 품질과 생산성을 극대화합니다.
DNW Series는 클린룸 환경에서 사용되는 고정밀 웨이퍼 이송 로봇으로서 반도체 공정의 생산성 향상과 오염 방지에 최적화되어 있습니다. 다축 제어와 센서 기반 위치 정렬 기술로 빠르고 안전한 웨이퍼 이동을 실현하며, 다양한 크기의 웨이퍼를 유연하게 처리할 수 있습니다. 유지보수 편의성과 확장성이 우수하여 글로벌 팹라인에서 널리 활용됩니다.
고정밀 모터구동 위치제어기는 자동화된 실험 환경 구축에 필수적인 솔루션으로서 X/Y/Z축 이동뿐만 아니라 회전·틸팅 등 다축 동작 지원이 가능합니다. 사용자 친화적 소프트웨어와 결합되어 빠르고 정확한 샘플 포지셔닝을 구현하며 반도체·광전자산업 등 첨단 제조공정에 폭넓게 적용됩니다.
다양한 반도체 공정의 자동화를 실현하는 R&D 특화 검사장비로서 여러 공정을 하나의 장비에 통합하여 메모리 반도체 제조공정에서 샘플링 검사와 수율관리를 혁신적으로 지원합니다. 경량화 및 소형화를 실현하며 테스트 시간을 획기적으로 단축해 고객사의 작업 효율성과 품질 관리를 동시에 향상시킵니다.
메티스는 반도체 제조 전 공정에 필요한 Index Unit(웨이퍼 이송 유닛), Bake Unit(열처리 유닛), Robot Controller(로봇 제어기) 등 핵심 장비를 자체 개발·생산하여 공급하고 있습니다. 각 장치는 높은 정밀성과 신뢰성을 바탕으로 생산라인의 자동화 및 품질 향상에 기여하며 고객 맞춤형 솔루션 제공이 가능합니다.
XGemPro는 반도체 및 디스플레이 장비의 운영 표준(GEM) 규격에 맞춘 고성능 드라이버 솔루션입니다. 생산설비업체가 다양한 장비를 효율적으로 제어하고 통합할 수 있도록 지원하며, 표준화된 인터페이스와 안정적인 데이터 처리를 바탕으로 첨단 제조 현장의 자동화를 가속합니다.
