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 반도체공장설비  제품/서비스 검색 결과 : 2

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제품/서비스명

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PLASMA SCRUBBER HPS 시리즈 (HPS–04M/HPS–04R/HPS–04S)영진아이엔디(주)
반도체공장설비PFC저감장치표준스크러버시스템Fab맞춤솔루션산업안전설비
HPS 시리즈는 반도체 공정에서 발생하는 다양한 PFC계 가스를 고효율 플라즈마 방식으로 분해·제거하는 표준 스크러버 라인업입니다. 누출 방지 설계와 소형 모델(HPS–04S)까지 갖추어 Fab별 맞춤 적용이 가능하며 안전성과 신뢰성을 동시에 제공합니다.
GAS UTILITY SYSTEM에이치아이티(주)
가스공급시스템반도체공장설비산업가스관리설비자동화솔루션플랜트엔지니어링
반도체 및 디스플레이 생산 현장에서 필수적인 가스를 안전하고 효율적으로 공급·관리하는 통합 유틸리티 시스템입니다. 정밀한 압력·유량 제어와 실시간 모니터링 기능을 갖추고 있어 생산설비의 안정성과 작업 환경의 안전성을 동시에 보장합니다.
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