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Park Wafer Series는 반도체 웨이퍼의 자동 결함 검사와 표면 특성 분석을 위한 전자동 원자현미경(AFM)입니다. 대형 웨이퍼(최대 300mm)까지 신속하고 반복 가능한 측정이 가능하며, 생산라인 인라인 계측에 최적화되어 있습니다. 반도체 제조 현장에서 품질 관리와 공정 최적화에 필수적인 첨단 계측 솔루션입니다.

OL-900n은 2020년 출시된 5세대 오버레이 계측 장비로, 반도체 전공정에서 하부·상부 패턴의 정렬 상태를 고정밀로 측정합니다. 300mm 웨이퍼 대응, 높은 반복재현성과 정확성, 신속한 고객 대응 서비스로 국내외 주요 반도체 제조사에 공급되고 있습니다. 미세화 공정 대응에 최적화된 장비입니다.