CIGS 박막형 태양전지의 Cd-free buffer layer 공정에 특화된 대면적 ALD/CVD 장비입니다. 친환경 공정 구현과 함께 넓은 면적의 균일한 박막 증착이 가능하며, 차세대 박막형 태양전지 생산라인 구축에 필수적인 설비로 인정받고 있습니다. 높은 생산성과 환경 규제 대응력을 동시에 제공하여 글로벌 시장에서 경쟁력을 확보하고 있습니다.
Sputter Gun은 고품질 금속 및 산화물 박막을 균일하게 증착할 수 있는 진공증착 핵심 부품으로서, 높은 이온화 효율과 정밀한 타겟 제어 기능이 특징입니다. 반도체 웨이퍼·디스플레이 패널 등 첨단소재 표면처리 공정에 필수적으로 적용되며 생산성과 품질 향상에 기여합니다.