LLO 시스템은 플렉시블 디스플레이 제조공정에 필수적인 레이저 박막 분리 장비로, 레이저와 광학 기술을 활용해 기판에서 캐리어 글래스를 분리하여 얇고 유연한 Thin Film Device 생산을 가능하게 합니다. 플렉서블 OLED 및 차세대 디스플레이 양산에 핵심적인 설비입니다.
IVIC 시리즈는 인라인 방식의 OLED 박막 증착 장비로, 연속적이고 대량 생산에 적합한 구조를 갖추고 있습니다. 고속 이송 시스템과 정밀한 증착 제어 기술로 생산 효율성을 극대화하며, 다양한 크기의 OLED 패널 제조에 유연하게 대응할 수 있습니다. 글로벌 디스플레이 제조사에 공급되어 품질과 신뢰성을 인정받고 있습니다.
러셀의 200mm 및 300mm 증착장비는 반도체 제조 공정의 핵심인 박막 증착(TFT, CVD, PVD 등)에 특화된 고성능 장비로, 글로벌 반도체 기업에 공급되고 있습니다. 고객 맞춤형 리퍼비시(Refurbish) 및 업그레이드 서비스를 통해 장비의 신뢰성과 생산성을 극대화하며, 8인치 및 12인치 웨이퍼 생산라인에 최적화된 솔루션을 제공합니다.
Spin Processor는 반도체 웨이퍼 표면에 균일한 박막을 형성하거나 세정액을 분사해 오염을 제거하는 고속 회전식 장비입니다. 정밀한 회전 제어와 다양한 용액 분사 기능을 통해 미세 패턴의 균일한 코팅 및 세정이 가능하며, 생산 라인의 자동화와 공정 효율성을 크게 높여줍니다. 반도체, 디스플레이 등 첨단 산업 분야의 핵심 공정에 최적화된 솔루션입니다.
최첨단 대형 OLED 증착 공정에 최적화된 WOLED Evap. Glass Jig는 고정밀 유리 지그로, 균일한 박막 형성 및 생산 효율 극대화를 지원합니다. 내구성과 정밀도를 동시에 갖춘 설계로 글로벌 디스플레이 제조사의 품질 기준을 충족하며, 차세대 OLED 패널 양산에 필수적인 핵심 부품입니다.
OLED 및 LCD 등 디스플레이 제조 공정에 특화된 첨단 열처리 장비입니다. 저온부터 고온까지 폭넓은 온도 제어가 가능하며, 독자적인 빠른 램프업/램프다운 기능을 통해 생산성을 극대화합니다. 우수한 온도 균일성과 정밀한 박막 처리 기술을 갖추고 있어 글로벌 디스플레이 제조사의 양산 라인에 적용되고 있습니다.
