Oxalic Acid Dihydrate(OA)는 반도체 미세공정 및 MLCC(적층세라믹콘덴서) 제조에 사용되는 초고순도 화학소재로, 금속 불순물 제거와 고순도 정제 기술이 적용되어 반도체 소자의 미세화와 고기능화에 최적화되어 있습니다. 천보는 국내 OA 시장의 90% 이상을 점유하며, 글로벌 반도체 산업의 품질 기준을 선도하고 있습니다.
최신 반도체 공정에 최적화된 ILSAN 300mm 웨이퍼 프로세스 장비는 고정밀 자동화 시스템과 안정적인 온도·압력 제어 기능을 갖추고 있어, 미세공정 및 대량생산 환경에서 뛰어난 생산성과 품질을 실현합니다. 다양한 반도체 칩 제조 라인에 적용 가능하며, 고객 맞춤형 옵션으로 효율성을 극대화할 수 있습니다.
MELCON THC Series는 반도체 및 디스플레이 생산라인의 포토리소그래피(Photolithography) 공정에 최적화된 초정밀 온·습도 환경을 구현하는 장치로, ±0.1℃의 정밀한 온도제어와 ±0.5%의 습도제어 성능을 자랑합니다. 삼성전자, SK하이닉스 등 글로벌 메이저 업체에 공급되며, 생산 수율 향상과 미세공정 안정성 확보를 위한 핵심 설비입니다.
SSIS-3000은 첨단 반도체 생산 공정에 최적화된 고성능 제조장비로, 미세공정 대응을 위한 정밀 제어와 안정적인 생산 효율을 자랑합니다. 자동화 시스템과 실시간 모니터링 기능이 결합되어 품질 관리와 생산성 향상에 탁월하며, 다양한 반도체 칩 및 웨이퍼 가공에 적용 가능합니다. 업계 표준 이상의 내구성과 신뢰성을 제공하여 글로벌 반도체 시장에서 경쟁력을 갖춘 솔루션입니다.
JS-SemiPro 시리즈는 첨단 반도체 생산 공정에 최적화된 고성능 제조장비로, 미세공정 대응 자동화 시스템과 정밀 제어 솔루션을 탑재하여 생산 효율성과 품질 안정성을 극대화합니다. 고객 맞춤형 설계와 신속한 유지보수 지원으로 글로벌 반도체 산업에서 경쟁력을 인정받고 있습니다.