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 로봇모듈  제품/서비스 검색 결과 : 1건

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설명
EFEM (Equipment Front End Module)(주)싸이맥스
FOUP오프너전공정자동화클린룸장비로봇모듈반도체생산설비
EFEM은 반도체 생산라인에서 FOUP 내 웨이퍼를 자동으로 인식·개방·적재하며 각종 로봇과 연동해 전공정 장비와 완벽히 호환되는 전면 자동화 모듈입니다. 싸이맥스의 EFEM은 고속 처리능력과 높은 청정도를 자랑하며 다양한 고객 맞춤형 옵션 제공으로 글로벌 IDM 업체들의 신뢰를 받고 있습니다.
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