그린리소스의 Y₂O₃(산화이트륨) 내플라즈마 보호코팅은 반도체 및 디스플레이 식각 장비의 핵심 부품에 적용되어 플라즈마 환경에서 탁월한 내식성과 고내구성을 제공합니다. 물리기상증착(PVD) 공정으로 구현되며, 산업통상자원부 장관상을 수상한 바 있는 초고밀도 특수 코팅 기술로, 미세공정과 대면적 패널 생산에 최적화된 품질과 신뢰성을 자랑합니다.
펨빅스의 Universal Deposition Technology(UDT)는 금속, 세라믹, 플라스틱 필름 등 다양한 소재에 고기능성 세라믹 복합 코팅을 구현하는 독자적 기술입니다. 반도체 및 디스플레이 생산 장비 부품에 적용되어 내플라즈마, 내Particle성 등 기존 코팅 기술의 한계를 극복하며, 생산 공정의 효율성과 내구성을 혁신적으로 향상시킵니다. 세계 최고 수준의 품질과 신뢰성을 자랑하는 펨빅스의 핵심 제품입니다.
2차전지, 반도체, 기계산업 등 다양한 산업 현장에 적용되는 내화학·내마모 세라믹 부품은 진공 소성로, 5축 가공기 등 첨단 설비로 생산되어 우수한 내구성과 정밀도를 자랑합니다. 내열, 절연, 내플라즈마 등 특수 환경에서도 안정적으로 작동하며, 고객 맞춤형 설계와 빠른 납기를 실현합니다.
반도체·디스플레이 식각장비 내 플라즈마 코팅용으로 개발된 초미세(15㎛ 미만) 고유동성 산화이트륨(Y₂O₃) 분말은 뛰어난 내플라즈마 특성과 고밀도 피막 형성 능력을 자랑합니다. 기존 수입에 의존하던 소재를 국산화하여 국내외 공급망을 구축했으며, 높은 순도와 균일한 입자 크기로 식각장비 부품 보호 및 수명 연장에 탁월한 효과를 제공합니다.
Y2O3 Parts는 반도체 장비 내에서 플라즈마 내구성이 요구되는 부위에 적용되는 고순도 이트륨옥사이드 세라믹 부품입니다. 뛰어난 내플라즈마성과 내식성으로 장비의 수명을 연장하고, 공정 중 오염을 최소화하여 고품질 반도체 생산에 기여합니다. 첨단 반도체 제조 환경에서 신뢰받는 소재 솔루션입니다.
CVD-SiC Focus Ring은 차세대 반도체 공정용으로 개발된 실리콘카바이드 소재의 포커스링입니다. 높은 공유결합에너지로 인해 강도와 내구성이 뛰어나며, 플라즈마 내성이 우수해 미세공정에서 파티클 발생을 최소화합니다. 기존 카본 소재 대비 불량률이 낮고, 수율 및 수명 증가 효과로 반도체 제조 효율성을 극대화합니다.
