세계 최초로 개발된 2파장 주파수 스캔 PSI기술(FSPSI)을 적용한 고속·고정밀 3차원 형상 측정기입니다. 반도체 웨이퍼, FPD, Flip chip, LED, MEMS 등 다양한 산업용 소재의 나노급 표면 형상과 두께를 비접촉 방식으로 정밀하게 측정할 수 있습니다. Motion, Vision, S/W 융합기술을 바탕으로, 고객의 다양한 어플리케이션에 맞춤형 Total Solution을 제공합니다.
원자힘현미경(AFM) 장비에 사용되는 초정밀 프로브로, 나노미터 단위의 표면 분석 및 정밀 측정에 적합합니다. 마이크로투나노의 AFM 프로브는 우수한 내구성과 정밀도를 바탕으로 반도체, 소재, 바이오 등 다양한 산업 분야의 연구개발 및 품질관리 공정에 활용됩니다. MEMS 기반의 첨단 가공 기술로 제작되어 신뢰성 높은 측정 결과를 제공합니다.