반도체 및 디스플레이 산업의 핵심 공정에 사용되는 세라믹 정전척은 기판을 정전기력으로 고정·흡착시켜 정밀한 가공과 고효율 생산을 실현합니다. 이지스코의 세라믹 정전척은 사파이어, 글라스 등 다양한 부도체 기판에 적용 가능하며, 높은 내전압성과 우수한 정전력으로 대면적 OLED, LCD, LED 공정에서 기판 처짐 방지 및 칩 수율 향상에 기여합니다. 4인치, 6인치 등 다양한 규격으로 제공되며, 국내 최고 수준의 기술력과 특허를 보유하고 있습니다.
