DICO2 GENERATOR는 반도체 웨이퍼 세정 공정에서 발생할 수 있는 정전기를 효과적으로 제거하기 위해 CO₂ 가스를 초순수에 용해시켜 비저항값을 조절하는 첨단 장비입니다. MFC(Mass Flow Controller)를 통해 CO₂ 주입량을 정밀하게 제어하며, 내장된 3nm 필터와 믹서 방식으로 파티클과 잉여가스 발생을 최소화합니다. 국산화 개발로 수입 의존도를 낮추었으며, 높은 신뢰성과 효율성을 자랑합니다.
부력과 주행이 동시에 가능한 원통형 트랙 구조의 습지용 이동 굴삭기는 준설 매립지, 바닷가, 폐기물 매립지, 습지 등 다양한 환경에서 뛰어난 작업 효율을 제공합니다. 스크류 트랙을 통한 자유로운 이동, 다양한 장비와의 호환성, 일체형 구조로 부대설비가 불필요해 공사기간과 예산을 절감할 수 있습니다. 국산화로 가격 경쟁력과 운영 비용 절감 효과까지 갖춘 혁신적인 건설장비입니다.
현장 맞춤형 가스유도방식 산소분석기 SJ-5000은 발전소, 지역난방공사, 대형 산업현장 등에서 연소 효율과 안전을 극대화하기 위해 개발된 고성능 분석기입니다. 순 국산화된 지르코니아 센서를 적용하여 정확한 산소 농도 측정이 가능하며, 중소기업청 성능인증과 한국환경공단 형식승인을 획득한 신뢰성 높은 제품입니다. 현장 설치와 유지보수가 용이하며, 다양한 산업 환경에 최적화된 성능을 제공합니다.
필라넷이 국산화 기술로 개발한 EO/IR 감시 카메라는 주·야간 환경에서 고성능 영상 감시와 탐지가 가능한 장비로, 원거리 감시와 실시간 영상 전송 기능을 갖추고 있습니다. 주요 국가 시설, 공항, 항만 등에서 활용되며, 통합 관제 시스템과 연동되어 보안 및 경계 과학화에 기여합니다.
OL-900n은 2020년 출시된 5세대 오버레이 계측 장비로, 반도체 전공정에서 하부·상부 패턴의 정렬 상태를 고정밀로 측정합니다. 300mm 웨이퍼 대응, 높은 반복재현성과 정확성, 신속한 고객 대응 서비스로 국내외 주요 반도체 제조사에 공급되고 있습니다. 미세화 공정 대응에 최적화된 장비입니다.
