반도체 웨이퍼에 메모리 소자를 형성하는 핵심 장치로, 공정가스 및 고주파 환경에서 뛰어난 내식성과 내마모성을 자랑합니다. 첨단 반도체 제조 공정에 필수적인 고내구성 설계와 정밀 가공 기술이 적용되어, 최신 메모리 및 고집적 칩 생산에 최적화된 성능을 제공합니다. 동원파츠의 프로세스 체임버는 일괄 생산 시스템을 통해 품질과 납기 모두를 만족시키는 솔루션입니다.
석유화학 플랜트, 플레어 스택(Flare Stack), 가스 검지기 등 다양한 산업현장에서 공정 안전과 품질관리를 위해 사용되는 맞춤형 표준가스입니다. 리가스는 87종의 고압가스와 400여 종의 시약을 활용해 수십만 조합의 혼합가스를 제조할 수 있으며, 국내외 석유화학 및 에너지 산업에서 신뢰받는 표준가스 공급사로 자리매김하고 있습니다.