자성유체씰은 고진공 환경에서 회전축의 밀폐를 위해 사용되는 첨단 부품으로, 자성유체를 활용해 진공 누설을 최소화합니다. SVMTECH의 자성유체씰은 반도체, 디스플레이, 우주항공 등 정밀 산업 장비에 적용되며, 높은 신뢰성과 긴 수명, 유지보수의 용이성을 제공합니다. 정밀 가공 및 엄격한 품질관리를 통해 글로벌 표준을 만족시키는 제품입니다.
반도체 제조 공정에 최적화된 아이산의 VLF*M-***KF Series 고진공 게이트밸브는 우수한 내식성과 고온 환경 대응력을 갖추고 있습니다. 최소 15,000개 이상이 국내외 반도체 생산라인에 납품되었으며, 완벽한 기밀성과 청정도를 실현하여 파티클 유입 및 누설을 효과적으로 방지합니다. 안전장치와 개폐 상태 시각 확인 기능 등 첨단 설계로 장비 신뢰성을 극대화하며, 기존 제품 대비 수명 연장과 비용 효율성까지 제공합니다.