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 계측정확도  제품/서비스 검색 결과 : 1건

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High Performance AF System (고성능 오토포커스 시스템)(주)오로스테크놀로지
오토포커스반도체공정계측정확도노광장비생산효율
High Performance AF System은 오로스테크놀로지가 자체 개발한 고성능 오토포커스 계측 기술로, 반도체 노광 공정에서 웨이퍼 표면의 높이 변동을 실시간으로 감지·보정하여 계측 정확도를 극대화합니다. 미세화된 반도체 공정에서 정밀 계측과 생산 효율성 향상에 필수적인 솔루션입니다.
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