기업명
(주)미코세라믹스
대표자 성함
여문원
설립일
2020-02-04
기업 규모
중견기업
소재지
경기 안성시 공단로 100
주요 상품
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법인 번호
552-81-01912
사업자 번호
134611-0103577
직원 수
251-500 명
수출 희망 국가
주력 업종
반도체 제조용 기계 제조업
판매 방식
-
기업 연락처
031-8056-5500

제품/서비스

  • AIN 세라믹 히터

    미코세라믹스의 AIN 세라믹 히터는 알루미늄 나이트라이드(AlN) 소재를 기반으로, 반도체 증착(CVD, ALD) 공정 장비의 챔버 내에 장착되어 웨이퍼에 균일하고 정밀한 열을 공급하는 핵심 부품입니다. 고순도·고내열 특성을 바탕으로 높은 열전도율과 내구성을 제공하며, 글로벌 반도체 장비 제조사와 칩 메이커에 공급되어 공정 효율성과 생산성을 극대화합니다. 일본 등 해외 의존도가 높았던 제품의 국산화에 성공하여, 세계 일류상품 인증을 획득한 대표적 혁신 제품입니다.

  • 세라믹 정전척

    미코세라믹스의 세라믹 정전척(ESC)은 반도체 제조 장비 내에서 웨이퍼를 정밀하게 고정하는 첨단 부품으로, 알루미나(Al₂O₃), 질화알루미늄(AlN) 등 고기능성 세라믹 소재를 적용하여 우수한 절연성과 내구성을 자랑합니다. 정밀한 온도 제어와 안정적인 웨이퍼 고정 성능을 제공해 반도체 미세공정의 생산성과 품질을 높이며, 글로벌 반도체 장비 시장에서 경쟁력을 인정받고 있습니다.

  • 세라믹 파츠

    미코세라믹스는 Al₂O₃, Y₂O₃, AlN, YAG 등 다양한 특수 세라믹 소재를 바탕으로, 반도체 제조 공정에 사용되는 각종 소모성 세라믹 부품을 공급합니다. 고객의 요구에 맞춘 맞춤형 설계와 고품질 생산으로, 반도체 장비의 내구성·정밀성·공정 효율을 극대화하며, 국내외 주요 반도체 장비업체와 칩 메이커에 안정적으로 공급되고 있습니다.

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