(주)유진테크

BlueJay™는 반도체 미세공정에 최적화된 싱글 타입 저압 화학기상증착(LPCVD) 장비로, 웨이퍼 표면에 균일하고 고품질의 절연막 및 박막을 형성합니다. 세계 유수 반도체 소자업체에서 핵심 공정장비로 채택되고 있으며, DRAM 등 첨단 메모리 제조 라인에서 높은 신뢰성과 생산성을 인정받고 있습니다. 독보적인 미세막질 제어 기술과 에너지 효율성을 바탕으로 차세대 반도체 공정 혁신을 주도합니다.

• 반도체장비
• LPCVD
• 박막증착
• 웨이퍼공정
• DRAM제조

Albatross™는 플라즈마 기반 화학기상증착(PECVD) 장비로서 다양한 절연막 및 보호층 증착에 특화되어 있습니다. 고밀도의 플라즈마 제어 기술을 통해 우수한 막질과 두께 균일성을 제공하며, 로직·메모리 등 다양한 반도체 소자 생산라인에서 활용됩니다. 경쟁사 대비 뛰어난 내구성과 유지보수 편의성이 강점입니다.

• PECVD장비
• 플라즈마증착기술
• 절연막형성장치
• 반도체제조설비
• 막질제어

유진테크는 화학기상증착(CVD), 원자층증착(ALD)에 사용되는 전구체 소재를 설계부터 합성·정제·유통까지 일괄 공급하는 솔루션을 제공합니다. 금속게이트와 캐패시터 등 첨단 소자의 박막 형성에 필수적인 고순도의 전구체를 안정적으로 공급하여 국내외 파트너사의 공정 혁신과 국산화율 제고에 기여하고 있습니다.

• 전구체소재공급망관리
• CVD소재개발
• K-반도체소재
• R&D서비스
• NanoTech솔루션