(주)파인솔루션

그래핀 소재의 고품질 박막 형성을 위한 플라즈마 강화 원자층 증착(PE-ALD) 장비로, 반도체 및 디스플레이 제조 공정에서 핵심적인 역할을 합니다. 이 장비는 균일한 박막 증착, 공정 자동화, 고효율 생산성을 제공하며, 글로벌 시장에서 경쟁력 있는 국산화 솔루션으로 평가받고 있습니다. 맞춤형 설계와 신속한 A/S 지원이 가능해 대기업 반도체 라인에서도 테스트 및 양산이 진행 중입니다.

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진공 장비의 압력 측정에 사용되는 고정밀 다이어프램 게이지로, 반도체 및 디스플레이 제조 공정에서 필수적인 부품입니다. 기존 외산 제품 대비 20~30% 저렴한 가격, 맞춤형 커스터마이징, 신속한 기술 지원이 강점이며, 국내 대기업 반도체 공정에서 양산 테스트를 완료하고 본격 양산을 앞두고 있습니다.

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실리콘카바이드(SiC) 기반 전력반도체 웨이퍼 번인(Burn-In) 및 검사 시스템으로, 고내구성·고효율 전력반도체 생산에 필수적인 첨단 장비입니다. 대당 약 60억원 규모의 고부가가치 장비로, 글로벌 시장에서 한 회사가 독점하던 분야에 도전하는 국산화 신제품입니다. 대용량 웨이퍼 처리, 자동화 검사, 신뢰성 평가 등 첨단 기능을 갖추고 있습니다.

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