반도체 제조 공정에 최적화된 고성능 Metal HEATER로, 150mm(6″), 200mm(8″), 300mm(12″) 웨이퍼 대응 다양한 규격과 STD HEATER, A101 HEATER, B101 HEATER 등 맞춤형 모델을 제공합니다. 내구성과 정밀 온도 제어가 강점이며, 수리 및 개선 서비스까지 지원하여 반도체 생산라인의 효율성을 극대화합니다.
정밀한 온도 제어가 필요한 반도체 및 디스플레이 제조 공정에 최적화된 HEATER JACKET은 배관, 밸브, 챔버 등 다양한 설비에 맞춤 적용이 가능하며, 고효율 단열 및 균일한 열 분포로 공정 안정성과 생산성을 극대화합니다. 자동화 설계 시스템을 도입해 제품 표준화와 신속한 납품이 가능하며, 고객 맞춤형 사양 대응이 뛰어납니다.
메카로의 Pedestal Heater Block은 반도체 제조 공정에서 웨이퍼의 흡착 및 정밀한 온도 제어를 실현하는 핵심 부품입니다. 고온에서도 균일한 온도 분포와 우수한 내구성을 자랑하며, 다양한 반도체 공정에 맞춤형 설계가 가능합니다. 첨단 금속 및 세라믹 소재를 적용해 열전달 효율과 신뢰성을 극대화하였으며, 글로벌 반도체 제조사에 공급되어 품질과 기술력을 인정받고 있습니다.
10년 이상의 노하우를 바탕으로 개발된 Heater Assembly Optimization Solution은 시뮬레이션 기반의 최적화 설계를 통해 반도체 및 디스플레이 공정에 필요한 고성능·고부가가치 히터 모듈을 제공합니다. 정밀 온도 제어와 에너지 효율성을 극대화하여 생산성과 품질을 동시에 확보할 수 있습니다.
반도체 및 전자부품 제조 공정에 사용되는 알루미늄 나이트라이드(AIN) 소재의 히터로, 우수한 열전도도와 내플라즈마성을 갖추고 있습니다. CVD, PVD, Etching 등 다양한 반도체 공정에서 고온·고청정 환경을 구현하며, 정밀 온도 제어와 내구성이 뛰어나 반도체 장비의 핵심 부품으로 활용됩니다.
FIRED HEATER는 발전소 및 산업플랜트에서 사용되는 고효율 가열로로, 연료 연소를 통해 열에너지를 공급하여 공정 효율을 극대화합니다. (주)영광의 FIRED HEATER는 에너지 절감, 내구성, 안전성을 모두 갖추고 있으며, 고객 맞춤형 설계로 다양한 산업 현장에 적용되고 있습니다.
