최첨단 반도체, 디스플레이, 태양광 및 2차전지 제조공정에 필수적인 LOTVAC Fore Vacuum Dry Pump는 고효율·고신뢰성의 건식 진공펌프로, 국내 최초로 독자 개발된 기술력을 바탕으로 뛰어난 내구성과 안정성을 자랑합니다. 다양한 공정 환경에서 미세먼지와 오염물질 유입을 최소화하며, 에너지 절감과 유지보수 효율성까지 실현하여 글로벌 반도체 산업의 생산성과 품질 향상에 기여합니다.
LOTVAC Booster Vacuum Pump는 대용량 및 고속 배기 성능이 요구되는 첨단 제조라인에 최적화된 솔루션입니다. 메모리·파운드리 등 다양한 반도체 공정에서 사용되며 높은 압축비와 신속한 배기 속도를 제공해 생산 효율성을 극대화합니다. 내구성이 뛰어나고 유지보수가 간편해 장기간 안정적인 운전을 보장합니다.
300mm Loadlock & Vacuum Transfer Module(VTM)은 반도체 제조 공정에서 웨이퍼를 진공 상태로 안전하게 이송하고, 외부 오염을 차단하여 생산 효율성과 품질을 극대화하는 첨단 자동화 장비입니다. 고도의 정밀 제어와 신뢰성 있는 로봇 기술이 적용되어 대형 팹(Fab) 및 다양한 반도체 라인에 최적화된 솔루션을 제공합니다.
최첨단 Stacked X/Y/Z/T Vacuum Stage는 반도체 및 디스플레이, 바이오·의료 생산장비에 적용되는 고정밀 위치 제어 솔루션입니다. 초고진공 환경에서 안정적인 동작과 미세 위치 조정을 지원하며, 나노 단위의 정밀도를 구현하여 메트롤로지 및 하이브리드 본딩 등 다양한 산업 현장에서 활용됩니다. 견고한 구조와 뛰어난 내구성으로 장기간 사용에도 우수한 성능을 유지합니다.
DRP-600은 고성능 오일 회전식 진공펌프로, 안정적인 고진공 환경을 구현하여 반도체, 디스플레이, 정밀기계 등 다양한 산업 현장에 최적화된 솔루션을 제공합니다. 내구성이 뛰어나고 유지보수가 용이하며, 빠른 배기 속도와 높은 신뢰성을 자랑합니다. 첨단 제조 공정에서 요구되는 청정 및 정밀 진공 조건을 만족시키는 대표 모델입니다.
DryCom 드라이 진공 펌프는 오일이 필요 없는 건식 진공 기술을 적용하여 청정한 진공 환경을 제공합니다. 반도체, 제약, 식품, 화학 등 오염에 민감한 산업에서 안정적인 성능과 유지보수의 용이성을 자랑합니다. 에너지 효율이 뛰어나고, 장시간 연속 운전에도 높은 내구성을 보장하여 생산성 향상에 기여합니다.
