OL-1000n은 반도체 제조 공정에서 각 회로 패턴 층의 정밀한 정렬 상태를 실시간으로 측정하는 6세대 오버레이 계측 장비입니다. 300mm(12인치) 웨이퍼 전용으로, 기존 5세대 대비 10~15% 향상된 성능을 자랑하며, 미세화·고집적 반도체 공정에서 필수적인 고정밀 계측 솔루션을 제공합니다. 글로벌 반도체 기업에 공급되며, 생산 수율과 품질 향상에 기여합니다.
OL-900n은 2020년 출시된 5세대 오버레이 계측 장비로, 반도체 전공정에서 하부·상부 패턴의 정렬 상태를 고정밀로 측정합니다. 300mm 웨이퍼 대응, 높은 반복재현성과 정확성, 신속한 고객 대응 서비스로 국내외 주요 반도체 제조사에 공급되고 있습니다. 미세화 공정 대응에 최적화된 장비입니다.
최첨단 반도체 제조 공정에 필수적인 효창산업(주)의 반도체 장비는 고정밀 자동화 기술과 신뢰성 높은 성능으로 글로벌 반도체 산업의 생산성을 극대화합니다. 다양한 반도체 소자 생산 라인에 최적화된 설계와 엄격한 품질 관리로, 고객의 다양한 요구에 부응하는 맞춤형 솔루션을 제공합니다.
옵티매스는 반도체 제조 공정에서 웨이퍼의 미세한 질량 변화를 마이크로그램(100만분의 1그램) 단위로 정밀하게 측정할 수 있는 첨단 계측 장비입니다. 증착 및 박막 공정 전후의 웨이퍼 무게를 실시간으로 비교하여, 공정의 정확성과 품질을 극대화합니다. SK하이닉스와 공동 개발된 이 장비는 외산 장비 대비 뛰어난 성능과 가격 경쟁력을 갖추고 있으며, 국내 최초로 국산화에 성공해 반도체 제조사의 선택 폭을 넓혔습니다.
(주)진성이엔지는 반도체 생산 공정에 필수적인 첨단 제조 장비를 설계·제작합니다. 고도의 정밀성과 안정성을 갖춘 장비로, 반도체 웨이퍼 가공, 이송, 조립 등 다양한 공정에 최적화된 솔루션을 제공합니다. 고객 맞춤형 설계와 엄격한 품질관리를 통해 글로벌 반도체 산업의 경쟁력을 높이고 있습니다.
(주)엠피에스는 반도체 생산 공정의 효율성과 정밀도를 극대화하는 첨단 반도체 제조용 장비를 개발 및 공급합니다. 고도의 자동화와 정밀 제어 기술이 적용되어, 웨이퍼 가공 및 조립, 검사 등 다양한 반도체 제조 단계에서 높은 생산성과 품질을 보장합니다. 산업 현장의 요구에 맞춘 맞춤형 설계와 신속한 기술 지원으로 고객의 경쟁력을 높여드립니다.
