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 탄화붕소(B4C)  제품/서비스 검색 결과 : 1

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B4C 포커스링(주)삼양세라텍
반도체부품포커스링탄화붕소(B4C)식각공정플라즈마내성
반도체 식각 공정에서 사용되는 소모성 부품으로, 실리콘 웨이퍼를 고정하고 플라즈마를 집중시켜 식각밀도를 균일하게 유지하며 웨이퍼 오염을 방지합니다. 삼양세라텍은 국내 최초로 열간 가압 방법을 적용한 B4C(탄화붕소) 포커스링 제조 기술과 자체 개발 장비를 통해 품질 및 원가 경쟁력을 확보하였으며, 고온·플라즈마 내성이 뛰어난 소재와 혁신적 공정으로 반도체 산업의 공급망 안정에 기여합니다.
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