절단·용접 등 다양한 공정에 맞춤 설계된 혼합가스를 비롯해 의료·연구·반도체 분야에서 요구되는 특수가스를 생산합니다. 고객 니즈에 따라 다성분 혼합비율 조정이 가능하며 클린룸 기반 전처리 시스템으로 초고청정도를 실현합니다. ICP-MS 분석 및 자동화 설비를 통한 체계적 품질관리가 강점입니다.
반도체 Diffusion 및 LPCVD 공정에 사용되는 Quartz(쿼츠) 제품을 Class 1 환경에서 세정하는 서비스로, ICP-MS 성분 분석기와 DI 비저항 관리 등 첨단 설비를 활용해 미세 오염까지 제거합니다. 온·습도 및 폐액 관리 등 엄격한 품질 관리로 반도체 생산라인의 안정성과 수율 향상에 기여합니다.
PRO-RPS는 자기유도결합(ICP) 방식의 첨단 플라즈마 발생 기술을 적용하여, 반도체 제조 공정에서 가스 분자에 고효율 에너지를 전달해 고에너지 활성종을 생성·공급합니다. 박막증착, 원자층 증착/식각, 표면처리 등 다양한 공정에서 균일하고 손상 없는 웨이퍼 처리를 실현하며, 원거리 공급으로 이온 손상을 최소화해 생산성과 품질 모두를 극대화합니다.
최첨단 센서 네트워크와 AI 기반 영상 생성 기술을 활용해 사용자 참여형 인터랙티브 미디어 컨텐츠를 기획·제작합니다. 박물관·홍보관 등 다양한 공간에 맞춤형 솔루션 제공이 가능하며 홀로그램 및 입체영상 구현으로 현장 몰입도를 극대화합니다. 예술적 감성과 IT기술의 융합으로 새로운 시각적 경험을 선사하는 것이 특징입니다.