반도체·디스플레이 식각장비 내 플라즈마 코팅용으로 개발된 초미세(15㎛ 미만) 고유동성 산화이트륨(Y₂O₃) 분말은 뛰어난 내플라즈마 특성과 고밀도 피막 형성 능력을 자랑합니다. 기존 수입에 의존하던 소재를 국산화하여 국내외 공급망을 구축했으며, 높은 순도와 균일한 입자 크기로 식각장비 부품 보호 및 수명 연장에 탁월한 효과를 제공합니다.
동양엠더블유가 자체 개발한 Y₂O₃(산화이트륨) 분말은 반도체 및 디스플레이 공정 챔버용 부품의 프리즈마용사코팅에 사용되는 고순도 희토류 소재로, 국내 최대 생산규모와 독보적 기술력을 자랑합니다. 일본·중국산에 의존하던 소재를 국산화하여 원가 경쟁력과 품질을 동시에 확보했으며, 대기업과의 장기 거래 및 맞춤형(Customizing) 생산이 가능한 것이 특징입니다. 최근에는 중국 등 해외 시장에도 수출을 확대하고 있습니다.
그린리소스의 Y₂O₃(산화이트륨) 내플라즈마 보호코팅은 반도체 및 디스플레이 식각 장비의 핵심 부품에 적용되어 플라즈마 환경에서 탁월한 내식성과 고내구성을 제공합니다. 물리기상증착(PVD) 공정으로 구현되며, 산업통상자원부 장관상을 수상한 바 있는 초고밀도 특수 코팅 기술로, 미세공정과 대면적 패널 생산에 최적화된 품질과 신뢰성을 자랑합니다.
미코세라믹스는 Al₂O₃, Y₂O₃, AlN, YAG 등 다양한 특수 세라믹 소재를 바탕으로, 반도체 제조 공정에 사용되는 각종 소모성 세라믹 부품을 공급합니다. 고객의 요구에 맞춘 맞춤형 설계와 고품질 생산으로, 반도체 장비의 내구성·정밀성·공정 효율을 극대화하며, 국내외 주요 반도체 장비업체와 칩 메이커에 안정적으로 공급되고 있습니다.
Yttria(Y₂O₃)는 반도체 및 디스플레이 Dry Etching 공정에서 파츠류를 보호하기 위한 내식성·내플라즈마성 코팅 재료입니다. 분말 형태(25~35㎛ sintered granule)와 코팅 형태 모두 제공되며 우수한 내구성과 안정성으로 장비 수명을 연장하고 공정 효율을 극대화합니다.
반도체 및 디스플레이 제조 공정에서 사용되는 프리즈마용사코팅 부품은 동양엠더블유의 핵심 기술이 집약된 제품입니다. 고온·고내식 환경에서 뛰어난 내구성과 성능을 제공하며, 자체 분말소재(Y₂O₃ 등)를 활용해 맞춤형 코팅 솔루션을 제공합니다. 대기업과의 협업을 통해 품질 및 신뢰성을 인정받고 있습니다.
오픈랜(O-RAN) 환경에서 네트워크 장비 간 상호 운용성 및 신호 품질을 실시간으로 검증하는 시험·분석 장비입니다. O-DU, O-RU, 코어망 등 다양한 장비의 연동 오류를 신속하게 탐지하고, End-to-End 품질 분석을 통해 오픈랜 상용화 및 네트워크 신뢰성 향상에 기여합니다.
친환경 과산화수소(H₂O₂)를 연료로 사용하는 스페이스솔루션의 H₂O₂ Thruster는 위성 및 발사체용 소형 추진 시스템으로서 고순도의 저독성 원료와 정교한 제어 기술이 결합되어 있습니다. 우주항공 분야에서 안전성과 효율성을 동시에 확보하며 글로벌 시장에서도 경쟁력을 인정받고 있습니다.
WS-O-RING 시리즈는 엔진 및 각종 유압·기계장치의 밀폐 성능을 극대화하기 위해 개발된 정밀 O-RING 제품군입니다. 내열·내유·내마모 특성이 강화된 합성고무 소재를 사용하여 장기간 안정적인 씰링 효과를 제공합니다. 국내외 완성차 업체와 기계산업 분야에서 널리 채택되고 있습니다.
SOLiD O-RU는 O-RAN(Open Radio Access Network) 표준을 기반으로 한 개방형 무선 접속망 장비로, 이동통신사의 네트워크 구축 비용을 절감하고 유연한 네트워크 확장성을 제공합니다. 5G 시대에 맞춘 고성능, 고효율 무선 신호 처리를 지원하며, 글로벌 인증을 획득해 해외 시장에서도 경쟁력을 인정받고 있습니다.
