MAK의 대기압 플라즈마 장비는 반도체, 디스플레이, 각종 필름 제조 공정에 적용되어 표면 세정, 활성화, 멸균 등 다양한 용도로 사용됩니다. 맞춤형 플라즈마 소스 설계와 정밀 제어 기술을 바탕으로, 고효율·고신뢰성의 공정 환경을 제공합니다. 친환경적이며, 생산성 향상과 품질 개선에 기여하는 첨단 장비입니다.
최첨단 플라즈마 절단 기술을 적용한 태원정공의 플라즈마 절단기는 다양한 금속 소재를 빠르고 정밀하게 가공할 수 있습니다. 고효율, 내구성, 작업 편의성을 모두 갖춘 이 장비는 조선, 중공업 등 산업 현장에서 생산성과 품질 향상에 기여하며, 세계 시장에서도 인정받는 기술력을 자랑합니다.
MKS의 플라즈마 및 반응성 가스 솔루션은 박막 증착(CVD/PVD), 식각 등 첨단 소재 처리 공정을 위한 맞춤형 시스템입니다. RF 파워 공급기와 고효율 플라즈마 소스를 결합하여 균일하고 재현성 높은 플라즈마 환경을 제공하며 복잡한 미세 패턴 형성과 신소재 개발에 필수적인 장비로 인정받고 있습니다.
PRO-RPS는 자기유도결합(ICP) 방식의 첨단 플라즈마 발생 기술을 적용하여, 반도체 제조 공정에서 가스 분자에 고효율 에너지를 전달해 고에너지 활성종을 생성·공급합니다. 박막증착, 원자층 증착/식각, 표면처리 등 다양한 공정에서 균일하고 손상 없는 웨이퍼 처리를 실현하며, 원거리 공급으로 이온 손상을 최소화해 생산성과 품질 모두를 극대화합니다.
플라즈마 백연 제거장치는 발전소 및 산업 현장에서 발생하는 백연(흰 연기)과 미세먼지를 효과적으로 제거하는 첨단 환경설비입니다. 고효율 플라즈마 기술을 적용하여 대기 중 입자상 물질(PM)을 신속하게 분해·제거하며 설치 공간이 작고 유지보수가 간편합니다. 친환경 규제 대응과 작업 환경 개선에 최적화된 솔루션입니다.
최첨단 플라즈마 화염 기술을 적용한 플라즈마 가스 스크러버는 반도체 전공정에서 발생하는 온실가스(PFCs, 산성가스 등)와 유해가스를 3,000℃ 이상의 고온 플라즈마로 대용량·고효율 처리합니다. 최신 저전력 설계와 대용량 처리 기술을 접목해, 미세먼지 및 온실가스 저감에 탁월한 성능을 발휘하며, 반도체·디스플레이·태양광 산업 현장의 대기환경 개선에 최적화된 솔루션을 제공합니다.
플라즈마 멸균기 시리즈는 저온 플라즈마 기술을 활용하여 의료기구와 실험실 장비를 신속하고 안전하게 멸균하는 첨단 장비입니다. 멸균 후 잔여물로 물과 산소만 남아 친환경적이며, 루멘테스트를 거쳐 다양한 의료용 기기의 즉각 재사용이 가능해 효율적인 재고 관리와 비용 절감 효과까지 제공합니다. CE 및 ISO 인증을 획득한 고품질의 친환경 솔루션입니다.
반도체·디스플레이·이차전지 제조 공정에 최적화된 다원시스의 플라즈마 전원장치는 정밀한 출력 제어와 높은 신뢰성을 바탕으로 다양한 산업 현장에서 활용됩니다. 고주파 및 펄스 파워 서플라이 기술이 집약되어 있으며, 첨단 소재 가공 및 표면처리 공정에서 생산성과 품질 향상을 실현하는 혁신적 파워 일렉트로닉스 장비입니다.
