무진전자(주)

SK하이닉스 등 국내외 유수 반도체 제조사에 공급된 무진전자의 Backside Clean 세정장비는 웨이퍼 후면 및 TSV 공정에서 발생하는 파티클을 효과적으로 제거하여 고집적·고성능 메모리 생산에 필수적인 청정 환경을 구현합니다. 싱글 챔버 방식과 멀티 챔버 구성을 통해 다양한 생산 라인에 최적화된 맞춤형 솔루션을 제공하며, 높은 자동화율과 정밀 제어 기술로 업계 최고 수준의 품질 안정성을 자랑합니다.

무진전자가 자체 지식재산권(IP)을 바탕으로 개발한 Wet Bench 세정장비는 다수의 웨이퍼를 동시에 처리할 수 있는 대용량 자동화 시스템입니다. 소 여물통 형태의 긴 벤치 내에서 균일하고 효율적으로 이물질 및 잔류 화학물을 제거해, 대량생산 공정을 위한 최적의 청결도를 보증합니다. 뛰어난 내구성과 유지관리 편의성으로 파운드리 및 전력반도체 업체에서도 널리 채택되고 있습니다.

LCD 패널 생산공정을 위한 특화 설계가 적용된 무진전자의 LCD 제조용 장비는 정밀한 박막 증착, 패턴 형성, 이물질 제거 등 핵심 공정을 통합 지원하여 고해상도 디스플레이 양산에 필수적인 품질 관리와 생산 효율 향상을 실현합니다.