리스광시스템(주)

텔레센트릭 렌즈는 시료의 단차나 원근감으로 인한 왜곡 없는 선명한 2D 이미지를 제공하며, D.O.F 내 배율 변화가 없고 필드 높이와 각도에 관계없이 정밀 검사가 가능합니다. ST, HR, Long W.D, Large Format 등 다양한 타입으로 구성되어 있으며, 반도체 및 웨이퍼 정밀 측정, 정렬, 표면 검사 등 첨단 산업 현장에서 최적의 이미징 솔루션을 제공합니다.

• 텔레센트릭렌즈
• 머신비전
• 반도체검사
• 웨이퍼측정
• 광학계

CVMS 시리즈는 튜브 렌즈와 대물 렌즈로 구성된 고정밀 현미경 광학계로, Koehler 조명 시스템을 적용해 높은 균일도의 이미지를 제공합니다. 다양한 배율과 광학 부품(필터, 편광자, 빔스플리터 등) 적용이 가능하며, 공간 제약이 많은 환경에서도 최적화된 성능을 발휘합니다. 반도체 웨이퍼, 바이오 칩, PCB 등 다양한 산업용 정밀 검사에 활용됩니다.

• 현미경
• 광학시스템
• 반도체검사
• 바이오칩
• PCB검사

웨이퍼 검사 시스템은 시료에 따라 주문형 광학 구성이 가능하며, 다양한 비전 및 스테이지 옵션을 통해 반도체 웨이퍼, PCB, LED/OLED 칩 등 미세 부품의 결함 검출, 양불 판정, 바코드 및 QR코드 검사 등 고정밀 자동화 검사를 지원합니다. Linear Lens Changer(LLC)로 배율을 손쉽게 변경할 수 있고, 고객 요청에 따라 자동 또는 수동 스테이지로 커스터마이징이 가능합니다.

• 웨이퍼검사
• 반도체공정
• 머신비전
• 자동화검사
• 결함검출