(주)그린리소스

그린리소스의 Y₂O₃(산화이트륨) 내플라즈마 보호코팅은 반도체 및 디스플레이 식각 장비의 핵심 부품에 적용되어 플라즈마 환경에서 탁월한 내식성과 고내구성을 제공합니다. 물리기상증착(PVD) 공정으로 구현되며, 산업통상자원부 장관상을 수상한 바 있는 초고밀도 특수 코팅 기술로, 미세공정과 대면적 패널 생산에 최적화된 품질과 신뢰성을 자랑합니다.

• 반도체장비
• 디스플레이식각
• PVD코팅
• 산화이트륨(Y₂O₃)
• 내식성부품

그린리소스는 란탄(Lanthanum), 세륨(Cerium) 등 다양한 희토류 금속과 산화물 분말을 전자재료와 산업용 소재 시장에 공급합니다. 열전도분말, 연마제, 박막증착재료 등으로 활용되며 고순도의 나노분말까지 제공하여 첨단 전자·반도체 공정의 효율성과 정밀도를 극대화합니다.

• 희토류금속
• 세라믹분말
• 나노소재
• 전자재료공급
• 박막증착

반도체와 디스플레이 제조 공정에서 필수적인 스퍼터링 타겟 및 증발원을 자체 개발·생산하여 공급합니다. 알루미늄 질화물(AIN), 알루미나(AI₂O₃), 탄소계 등 다양한 재질로 제작 가능하며 높은 순도의 균일한 박막 형성 능력과 안정적인 성능을 보장해 차세대 소자 제조에 적합합니다.

• 스퍼터링타겟
• 증발원부품
• 박막증착기술
• 반도체공정부품
• 소재개발