맥스플러스이엔지(주)

반도체 공정의 핵심인 챔버는 고도의 정밀성과 내구성을 갖춘 설계로, 플라즈마 및 진공 환경에서 안정적인 반도체 제조를 지원합니다. 맥스플러스이엔지(주)의 챔버는 다양한 반도체 장비에 맞춤 적용이 가능하며, 고순도 소재와 정밀 가공 기술을 바탕으로 높은 신뢰성과 생산성을 제공합니다.

• 반도체장비
• 챔버
• 플라즈마공정
• 진공장비
• 정밀가공

반도체 증착 및 식각 공정에 사용되는 샤워 헤드는 균일한 가스 분포와 내식성 소재를 적용하여 공정 효율과 품질을 극대화합니다. 맥스플러스이엔지(주)의 샤워 헤드는 미세 가공 기술을 통해 정밀한 가스 분사와 내구성을 실현하여, 첨단 반도체 제조 환경에 최적화된 솔루션을 제공합니다.

• 반도체공정
• 샤워헤드
• 증착장비
• 가스분사
• 내식성부품

반도체 제조 장비의 온도 제어를 담당하는 히터 블록은 고정밀 온도 유지와 빠른 열전달을 실현합니다. 맥스플러스이엔지(주)의 히터 블록은 고효율 발열체와 내구성 소재를 적용하여, 반도체 공정의 생산성과 품질 향상에 기여합니다.

• 반도체장비
• 히터블록
• 온도제어
• 열관리
• 공정장비부품