프리시스(주)

V70-D_Standard Type Standard(Bellows)는 반도체 및 평판 디스플레이(FPD) 공정에 최적화된 고진공 게이트 밸브입니다. 내열성, 내구성, 내식성이 뛰어나 반복 동작에도 분진이 발생하지 않아 수율 관리에 탁월하며, 기체 차단 성능과 신뢰성을 극대화해 미세한 반도체 제조 환경에서 안정적인 진공 유지가 가능합니다. 고객 설비 환경에 맞춘 맞춤형 설계와 도면 일치율 100% 구현으로 품질 손실을 최소화합니다.

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• 진공밸브
• 고진공게이트밸브
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V77-D_Air Seal Type Double은 이중 에어 실 구조를 적용한 고신뢰성 진공 밸브로서 반도체·디스플레이·태양전지 등 다양한 첨단 공정에서 사용됩니다. 우수한 기밀성과 긴 수명으로 오염원 차단과 기체 투과율 최소화를 실현하며 까다로운 생산 라인에서도 안정적인 운용이 가능합니다. 자체 개발 에이징 시스템을 통해 성능 검증 및 신뢰성을 확보하였으며 글로벌 시장에서도 경쟁력을 인정받고 있습니다.

• 초고진공밸브
• 이중실링밸브
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• 오염차단기술
• 글로벌반도체시장

V74-D_Simple Design은 컴팩트하고 효율적인 구조의 고진공 게이트 밸브로서 설치 공간 제약이 있는 장비에도 적합하게 설계되었습니다. 빠른 개폐 속도를 자랑하며 유지보수가 용이해 생산 효율 향상에 기여합니다. 다양한 자동제어 시스템과 연동되어 스마트 팩토리 구축에도 활용도가 높습니다.

• 콤팩트게이트밸브
• 자동제어연동장치
• 스마트팩토리부품
• 유지보수용이성
• 산업설비최적화