(주)아이씨디

차세대 AM-OLED 및 TFT-LCD 패널 제조에 필수적인 플라즈마 식각 장비로, 고집적·고해상도 평판디스플레이 생산 공정의 핵심 솔루션입니다. 아이씨디의 HDP Etcher는 높은 균일성과 정밀도를 바탕으로 대면적 패널 양산에 최적화되어 있으며, 삼성디스플레이와 LG디스플레이 등 국내외 주요 디스플레이 제조사에 공급되어 기술력과 신뢰성을 인정받고 있습니다. 자체 개발한 ESC(정전척) 등 핵심 부품을 적용하여 안정적인 품질과 효율적인 생산 환경을 제공합니다.

• OLED 식각장비
• 플라즈마 에처
• 평판디스플레이 제조
• 반도체 공정장비
• 대면적 패널

TFT-LCD용 드라이 에처(Dry Etcher)는 초미세 회로 형성 및 고해상도 LCD 패널 제작에 필수적인 건식 식각 장비입니다. 아이씨디의 Dry Etcher는 대형(7G 이상) 유리기판 대응이 가능하며 우수한 균일성과 생산성을 자랑합니다. 삼성전자와 LG디스플레이 신규 라인에도 채택된 검증된 설비로서 국내외 시장에서 높은 점유율을 확보하고 있습니다.

• LCD 식각장비
• 건식식각기술
• FPD제조설비
• 대면적 유리기판공정
• 디스플레이공정자동화

최첨단 플라즈마 코팅 시스템은 디스플레이용 유리 표면 처리뿐 아니라 바이오·의료 분야까지 확장 가능한 다목적 진공 코팅 솔루션입니다. 물질의 제4상태인 플라즈마를 활용하여 뛰어난 접착력과 내구성 향상을 실현하며 친환경 공정을 지원합니다. 소형 글래스트리트먼트부터 금속 증착까지 다양한 맞춤형 사양 제공이 가능합니다.

• 플라즈마코팅시스템
• 진공코팅설비
• 바이오표면처리장치
• 의료소재가공설비
• 첨단소재가공