(주)동원파츠

반도체 웨이퍼에 메모리 소자를 형성하는 핵심 장치로, 공정가스 및 고주파 환경에서 뛰어난 내식성과 내마모성을 자랑합니다. 첨단 반도체 제조 공정에 필수적인 고내구성 설계와 정밀 가공 기술이 적용되어, 최신 메모리 및 고집적 칩 생산에 최적화된 성능을 제공합니다. 동원파츠의 프로세스 체임버는 일괄 생산 시스템을 통해 품질과 납기 모두를 만족시키는 솔루션입니다.

• 반도체장비
• 웨이퍼공정
• 내식성부품
• 메모리제조
• 첨단소재

원자층 증착(Atomic Layer Deposition, ALD) 장비에 사용되는 부품으로, 절연막 형성 등 고사양 반도체 칩 제조 공정에 필수적입니다. 균일한 가스 분사와 내구성, 정밀 가공이 강점이며, 최신 반도체 및 디스플레이 생산라인에서 높은 신뢰성과 생산성을 제공합니다. 동원파츠의 샤워 헤드는 고객 맞춤형 설계와 품질관리로 글로벌 시장에서 경쟁력을 인정받고 있습니다.

• ALD장비
• 증착공정
• 반도체부품
• 디스플레이제조
• 정밀가공