유니셈(주)

UniScrubber는 반도체 및 디스플레이 제조 공정에서 발생하는 각종 유해가스를 효과적으로 정화하는 첨단 가스 스크러버 장비입니다. 독자적인 국산화 기술로 개발되어, 고효율 유해가스 제거와 에너지 절감, 친환경 설계가 특징입니다. 삼성전자, SK하이닉스 등 국내외 주요 반도체 기업에 공급되며, 고객 맞춤형 설계와 신속한 유지보수 서비스로 높은 신뢰를 받고 있습니다.

• 반도체장비
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• 유해가스정화
• 클린룸
• 친환경설비

USM Chiller는 반도체 및 디스플레이 제조 공정의 챔버와 웨이퍼 주변 온도를 정밀하게 제어하는 고성능 냉각장치입니다. 풋프린트 감소, 근접 설치, 극저온 대응, 친환경 냉매 적용 등 다양한 기술이 집약되어 있으며, 에너지 효율성과 신속한 응답속도를 자랑합니다. 고객사의 생산 수율 향상과 에너지 절감에 기여하는 최첨단 냉동·냉각 솔루션입니다.

• 반도체냉각
• 칠러
• 온도제어
• 에너지절감
• 생산수율

UniOzone Generator는 반도체 제조 공정에서 필요한 고농도의 오존을 안정적으로 공급하는 장치로, 세정 및 표면 개질 공정의 효율을 극대화합니다. 고순도 오존 발생과 정밀한 농도 제어가 가능하며, 내구성과 안전성을 동시에 갖춘 설계로 생산라인의 품질과 생산성을 높여줍니다.

• 오존발생기
• 반도체세정
• 고농도오존
• 표면처리
• 생산공정