(주)코리아스타텍

LCD 및 OLED 제조공정의 핵심 부품인 ESC(정전척)는 드라이 에칭 공정에서 기판을 하부 전극에 고정시키고 온도를 제어하는 첨단 장치로, 코리아스타텍은 일본이 독점하던 이 기술의 국산화에 성공했으며 단극유도(monopolar)와 세계 최초 대면적 양극유도(bipolar) ESC까지 자체 개발하여 디스플레이 산업 경쟁력을 높이고 있습니다.

• 정전척
• LCD제조장비
• OLED공정부품
• 반도체장비부품
• 국산화기술

아르곤 등 가스 중 고온 플라즈마 제트로 분말 재료를 용융·가속시켜 금속·세라믹 등 다양한 소재 표면에 고밀도의 피막을 형성하는 첨단 코팅 솔루션으로 내열성·내식성 향상과 미세 가공이 필요한 반도체/LCD/OLED 장비 부품 보호에 최적화되어 있습니다.

• 세라믹코팅
• 플라즈마용사
• 표면처리기술
• 내열피막솔루션
• 산업설비보호

반도체 및 디스플레이 생산라인의 각종 장치와 부품을 위한 초미세 오염 제거 전문 세정 서비스로서 생산효율 극대화와 불량률 저감에 기여하며 국내외 주요 대기업 협력업체로 인정받고 있습니다.

• 반도체클린서비스
• 정밀세정보수관리
• LCD생산지원서비스
• 오염제거솔루션
• 공정부품재생