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기업 정보

주요 상품

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Apollon Series (반도체 습식 세정장비)
Apollon 시리즈는 첨단 반도체 제조 공정에서 발생하는 오염원을 화학 용액으로 완벽하게 제거하는 고성능 습식 세정장비입니다. 30nm 이하 미세공정 대응 매엽식(Single)과 대량처리 배치(Batch) 타입 모두 제공하며, 파티클 및 미세 에칭양 제어에 탁월합니다. 공정 단순화, 비용 절감, 친환경 설계 등으로 국내외 반도체 생산라인의 품질과 효율을 극대화합니다.
HELIA System (LCD·태양전지용 Glass 이송 통합관리시스템)
HELIA 시스템은 LCD 및 태양전지 생산라인에서 Glass 기판의 자동 이송과 정보 처리를 통합 관리하는 솔루션입니다. MELSEC-NET 기반 In-Line Transfer System으로 5~8.5세대 라인까지 적용되며, Hot Plate/Cool Plate 열처리 장치와 연동해 생산 효율성과 수율을 획기적으로 높여줍니다.
ZERO Series (산업용 로봇 및 진공 펌프)
ZERO 시리즈는 반도체·디스플레이 제조 현장의 자동화와 정밀 공정을 지원하는 산업용 로봇 및 저온 진공 펌프 솔루션입니다. 고신뢰성 모듈 설계로 다양한 환경에 맞춤 적용 가능하며, 생산라인의 무인화·고속화를 실현하여 고객사의 경쟁력을 강화합니다.

재무 정보와 기술 경쟁력, 연구 협력 현황까지. 통합된 데이터 분석으로 한층 더 신뢰할 수 있는 판단을 지원합니다.

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