인투코어테크놀로지(주)

PRO-RPS는 자기유도결합(ICP) 방식의 첨단 플라즈마 발생 기술을 적용하여, 반도체 제조 공정에서 가스 분자에 고효율 에너지를 전달해 고에너지 활성종을 생성·공급합니다. 박막증착, 원자층 증착/식각, 표면처리 등 다양한 공정에서 균일하고 손상 없는 웨이퍼 처리를 실현하며, 원거리 공급으로 이온 손상을 최소화해 생산성과 품질 모두를 극대화합니다.

• 반도체장비
• 플라즈마공정
• 웨이퍼처리
• 박막증착
• 식각기술

CO₂ 플라즈마 변환장치는 대규모 온실가스(CO₂)를 고온 플라즈마를 통해 합성가스(Syngas) 등 친환경 에너지원으로 전환하는 혁신적 설비입니다. 기존 대비 처리 효율과 경제성이 뛰어나며 설치 공간이 작고 대량 양산에도 적합합니다. 발전소·철강사 등 산업 현장의 탄소중립 실현과 지속가능한 에너지 생산 패러다임 전환에 기여합니다.

• 탄소저감설비
• 합성가스생산
• 친환경플랜트
• 온실가스감축
• CCUS기술

매립지가스를 활용한 메탄올 및 수소 생산 시스템은 폐기물 매립지에서 발생하는 CH₄와 CO₂를 고온 플라즈마로 처리하여 바이오메탄올·바이오수소·SAF 등 고부가가치 연료로 전환합니다. 하루 최대 200kg 수소 또는 150kg 메탄올 생산 능력과 연간 수천 톤 CO₂ 저감 효과를 입증했으며 국내외 실증사업(PoC)을 통해 상용화된 친환경 에너지 솔루션입니다.

• 바이오수소생산
• 메탄올제조설비
• 폐기물에너지화(WtE)
• 그린수소플랜트
• 지속가능연료(SAF)